我国“超级针”X射线成像系统成功实现自主研制

本文摘要：近日，中国电科38所公布自律研制的新一代可用检测设备——“超级针”X射线光学系统，这是全国首台“超级针”X射线光学系统。该系统享有“火眼金睛”般的缺失检测能力，光学分辨率大于1微米。 随着集成电路向高集成度、微型化方向发展，先进设备PCB工艺对PCB检测设备明确提出新的市场需求和挑战。

近日，中国电科38所公布自律研制的新一代可用检测设备——“超级针”X射线光学系统，这是全国首台“超级针”X射线光学系统。该系统享有“火眼金睛”般的缺失检测能力，光学分辨率大于1微米。

随着集成电路向高集成度、微型化方向发展，先进设备PCB工艺对PCB检测设备明确提出新的市场需求和挑战。一方面，更加细致的PCB尺度拒绝设备分辨率提高至亚微米级，但目前国际上可生产亚微米级分辨率设备的厂商屈指可数；另一方面，随着芯片生产及PCB过程中更加多地用于硅、铝、铜、陶瓷等轻元素材料，对轻元素材料的检测市场需求日益突显，对设备检测范围明确提出了更高拒绝。

因此，更加高分辨率、更加高对比度、更大检测范围的X射线检测设备，已沦为集成电路PCB检测行业发展的迫切需要。微焦点X射线光学系统是工业可用检测的常规不可或缺设备，普遍应用于集成电路、电子器件等各种器材的可用检测，需要仔细观察物体内部的精细结构，其中X射线源的性能则必要要求了此类设备的检测能力。超级针是一种理论上的最佳电子源。

2011年，中国电科38所首次明确提出将超级针应用于微焦点X射线源的研发。经过近十年的技术研制成功，超级针X射线光学系统最后成功问世。

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